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簡要描述:傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,氣體純度和組成分析,環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。
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傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,氣體純度和組成分析,環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。光譜分析儀能分析含有高達40%水的氣流,能同時分析和顯示多達30種氣體。分析儀儲存了校準(zhǔn)光譜,故省出了氣體筒的成本。另外,操作者也會發(fā)現(xiàn)它操作簡便,易于維護。
傅利葉變換紅外光譜分析儀由保護的2102傅利葉變換紅外制成分光計, 高光通量取樣單元,專業(yè)分析軟件及獨立的定量光譜庫組成。收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫分析,提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度,高靈敏度測量。
特點和優(yōu)點:
? 10ppb-100%靈敏度對于絕大多數(shù)有毒有 害氣體
? 易于移動從一處移到另一處,設(shè)置僅需幾 分鐘
? 同時分析和顯示多達30種氣體
? 分析儀儲存了校準(zhǔn)光譜,省去了氣體筒的 成本
? 取樣氣體在進入分析室前加熱并維持恒定 溫度
? 保護的線性檢測器,確保所有分析儀維持在相同的校準(zhǔn)條件下
? 頻率和分辨率診斷,確保校準(zhǔn)恒定
? 提供自動溫度和壓力補償以確保分析精度
? 用戶操作簡便軟件界面,稍加培訓(xùn)即可操作
應(yīng)用:
? 煙囪監(jiān)測器
? 工藝監(jiān)測改進和優(yōu)化
? 空氣環(huán)境分析
? 氣體純度分析
? 燃燒排放監(jiān)測
? 選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測
5.11米氣室,MCT檢測器在0.5cm-1分辨率下,下列典型氣體檢測數(shù)據(jù)為:
名稱 | 分子式 | 20/20?氣室,5min檢測時間下的檢測值 | 20/20?氣室,1s檢測時間下的檢測值 |
氨氣 | NH3 | 30ppb | 0.5ppm |
二氧化碳 | CO2 | 12ppb | 0.2ppm |
一氧化碳 | CO | 72ppb | 1.2ppm |
甲醛 | H2CO | 36ppb | 0.6ppm |
氯化氫 | HCl | 87ppb | 1.5ppm |
甲烷 | CH4 | 36ppb | 0.6ppm |
二氧化氮 | NO2 | 24ppb | 0.4ppm |
氧化氮 | NO | 210ppb | 3.6ppm |
氧化二氮 | N2O | 30ppb | 0.5ppm |
四氟化硅 | SiF4 | 10ppb | 0.15ppm |
二氧化硫 | SO2 | 36ppb | 0.6ppm |
四氟化碳 | CF4 | 2.5ppb | 40ppb |
二甲苯磺 | C8H10 | 60ppb | 1.0ppm |
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